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光傳感器測(cè)試設(shè)備

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APD-QE 先進(jìn)光傳感器量子效率光學(xué)儀

APD-QE 先進(jìn)光傳感器量子效率光學(xué)儀尖端光偵測(cè)器的尖端工具APD-QE 采用獨(dú)家光束空間均勻化技術(shù)，利用 ASTM 標(biāo)準(zhǔn)的「Irradiance Mode」測(cè)試方式，與各種先進(jìn)探針臺(tái)形成完整的微米

產(chǎn)品詳情咨詢(xún)

探針臺(tái)|全自動(dòng)探針臺(tái)|硅光晶圓測(cè)試系統(tǒng)|半自動(dòng)探針臺(tái)|手動(dòng)探針臺(tái)|國(guó)產(chǎn)探針臺(tái)|Hanwa ESD/ TLP測(cè)試儀|CDM測(cè)試機(jī)|晶圓級(jí)ESD測(cè)試儀|芯片HCI/BTI/TDDB/DCEM可靠性測(cè)試設(shè)備、滿(mǎn)足實(shí)驗(yàn)室研發(fā)和晶圓廠量產(chǎn)的多種需求。廣泛應(yīng)用于：WAT/CP測(cè)試、I-V／C-V測(cè)試、RF/mmW測(cè)試、高壓/大電流測(cè)試、在片wlr、在片老化burning、高低溫測(cè)試、光電器件測(cè)試（硅光、CMOS，SPAD傳感器等）、晶圓級(jí)失效分析、芯片ESD測(cè)試、半導(dǎo)體工藝可靠性驗(yàn)證、封裝測(cè)試等領(lǐng)域

產(chǎn)品概述

產(chǎn)品規(guī)格表

外形尺寸

APD-QE 先進(jìn)光傳感器量子效率光學(xué)儀
尖端光偵測(cè)器的尖端工具
APD-QE 采用獨(dú)家光束空間均勻化技術(shù)，利用 ASTM 標(biāo)準(zhǔn)的「Irradiance Mode」測(cè)試方式，與各種先進(jìn)探針臺(tái)形成完整的微米級(jí)光傳感器全光譜量子效率測(cè)試解決方案。APD-QE 已被應(yīng)用于多種先進(jìn)光傳感器的測(cè)試中，例如在 iPhone 光達(dá)與其多種光傳感器、Apple Watch 血氧光傳感器、TFT 影像傳感器、有源主動(dòng)圖元傳感器（APS）、高靈敏度間接轉(zhuǎn)換 X 射線傳感器等。

APD-QE 與各種探針臺(tái)兼容，為各種光電探測(cè)器提供全面的測(cè)試解決方案，包括：

iPhone LiDAR 和光線傳感器

Apple Watch 血氧傳感器

TFT 和有源像素傳感器（APS）

高靈敏度間接轉(zhuǎn)換 X 射線傳感器

內(nèi)部整合探針臺(tái)
APD-QE 系統(tǒng)由于其出色的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可以組合多種探針臺(tái)。全波長(zhǎng)光譜儀的所有光學(xué)元件都集成在精巧的系統(tǒng)中。單色光從光譜儀引導(dǎo)到探針臺(tái)遮罩盒。圖片顯示了 MPS-4-S 基本探針臺(tái)組件，帶有 4 英寸真空吸盤(pán)和 4 個(gè)帶有低噪聲三軸電纜的探針微定位器。

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集成探針臺(tái)顯微鏡，手動(dòng)滑塊切換到被測(cè)設(shè)備的位置。使用滑動(dòng)條后，單色光均質(zhì)器被「固定」在設(shè)計(jì)位置。顯微圖像可以顯示在屏幕上，方便使用者進(jìn)行良好的接觸。
可定制化整合多種探針臺(tái)與遮罩暗箱

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APD-QE 光傳感器量子效率檢查系統(tǒng)在光斑直徑 25mm 光束尺寸、工作距離 200mm 條件下檢查，可以達(dá)到光強(qiáng)度與光均勻度如下。在波長(zhǎng) 530nm 時(shí)，光強(qiáng)度可以達(dá)到 82.97μW/(cm2) 。

Photodetector-Quantum-Efficiency-System-beam-spot-customized-APD-QE-2

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客戶(hù)在不同的 constant photon flux（恒定光子通量）條件下，進(jìn)行的光譜測(cè)試結(jié)果。

APD-QE（高級(jí)光電探測(cè)器量子效率測(cè)量系統(tǒng)）測(cè)量的典型光強(qiáng)度。照明光束尺寸為直徑 25 毫米，工作距離為 200 毫米。

WL (nm)	Full Width at Half Maximum (nm)	Uniformity U%=(M-m)/(M+m)
WL (nm)	Full Width at Half Maximum (nm)	5mm×5mm	3mm×3mm
470	17.65	1.6%	1.0%
530	20.13	1.6%	1.2%
630	19.85	1.6%	0.9%
1000	38.89	1.2%	0.5%
1400	46.05	1.0%	0.5%
1600	37.40	1.4%	0.7%

使用獨(dú)特的 PEM（光子能量調(diào)制器）恒定光子控制功能（CP 控制模式），光子數(shù)的變化可以是 < 1%。

Measurable Parameters

Customizable Options


1. Absolute light intensity calibration	1.Customized dark box
2. Spectral response measurement	2.XYZ axis displacement platform
3. External quantum efficiency measurement (EQE)	3.Customized probe station integration service
4. NEP (Noise Equivalent Power) spectrum
5. D* (detectivity) spectrum
6. Noise-current-frequency response chart (A/Hz-1/2)
7. Flicker noise, Johnson noise, Shot noise analysis
8. I-V curve measurement ?Different light intensities for I-V curve measurement ?Constant current/voltage, voltage/current vs. time testing ?Under illumination conditions

均光系統(tǒng)與探針臺(tái)整合：

Integration-of-Uniform-light-homogenizer-and-probe-station-APD-QE-1-pat7mx3wjg5mv8nlwif8fcj93l9g6eouw1d5pcuvfo

High-uniform-Beam-Spot-quantum-efficiency-APD-QE-pp3026xmrhqaw3hacj6lkjv6s4ihcghk0uba44vsh6 (1)

高均勻度光斑
采用獨(dú)家專(zhuān)利傅立葉光學(xué)元件均光系統(tǒng)，可將單色光光強(qiáng)度空間分布均勻化。在 10mm x 10mm 面積以 5 x 5 檢查光強(qiáng)度分布，不均勻度在 470nm、530nm、630nm、850nm 均可小于 1%。而在 20mm x 20mm 面積以 10 x 10 矩陣檢查光強(qiáng)度分布，不均勻度可以小于 4%。

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